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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

簡要描述:四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,不同底氣的樣品的進樣量。

  • 產品型號:GC-9560-PDD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-06-16
  • 訪  問  量: 3403

詳細介紹

四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,不同底氣的樣品的進樣量。


硅(SiHCl3)含量(體積分數)/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分數)/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分數)/l0-6                                                         20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
銻(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
銦(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
鈉(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
銅(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
釩(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5





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